LCD 기판 검사 광학계의MTF 측정장치 제작
MTF Measuring Equipment of Optical System for LCD Substrate Inspection
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초록
LCD(liquid crystal display) 기판의 표면검사용 광학장치의 성능평가를 위한 변조전달함수 측정장치를 설계하고 제작하였다. 이 장치에는 3개의 막대물체 모양의 USAF(United States Air Force) 해상도 물체와 적분구로 구성한 물체발생장치와 2차원 CCD(charge coupled device)의 상분석 장치를 사용하였다. 시험렌즈의 변조전달함수는 물체와 상의 명암비를 나눈 명암전달함수를 구한 후 변조 전달함수로 보정하여 변환시켰다. 제작된 평가장치를 이용하여 배율 2.6배, F/13.65의 시험 광학계를 평가하였으며, 공간주파수 62.5 lp/㎜에서 자오면에 대해서 30.6 %, 구결면에 대해서 26.1 %의 값을 얻었다.
Abstract
We developed the equipment to measure the MTF(modulation transfer function) of an optical system for automatically inspecting the surface condition of an LCD substrate. We have made an object generator with USAF(United States Air Force) targets of three bar patterns and an integrating sphere, and an image analyzer with a 2 dimensional CCD(charge coupled device) and a relay lens. The MTF of the lens under test was obtained by correcting the measured CTF(contrast transfer function) which is the ratio of the contrast in the image of the USAF target to the contrast in the object. We have measured an optical system of F/13.65 (2.6x), the MTF are 30.6 % tangential plane and 26.1 % sagittal plane at 62.5 1p/㎜.
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