초소형 전자칼럼을 위한 마이크로 자기장 디플렉터 연구
Magnetic Micro-Deflector for a Microcolumn System
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참고문헌
초록
초소형 전자칼럼을 위한 마이크로 자기장 디플렉터를 제작하여 저에너지 영역에서 디플렉터의 동작 특성을 확인하였다. 마이크로 디플렉터는 지름이 500 μm의 원통형 코어에 감겨진 100 μm 지름의 Cu 코일로 구성되어 있다. 두 쌍의 디플렉터는 10×10 mm 크기의 절연 기판에 고정되어 전자빔을 2차원 스캔할 수 있도록 고안되었다. 마이크로 자기장 디플렉터를 부착한 초소형 전자칼럼을 저전력으로 시험 구동한 결과 100 μm/A의 편향 결과를 얻어 활용 가능성을 확인하였다.
Abstract
We have fabricated a magnetic micro-deflector for a microcolumn system and tested its performance by operating it in the low energy region. The micro-deflector is composed of Cu coils around cylindrical cores with 500 μm diameter. The diameter of the Cu coil itself is 100 μm. Two pairs of deflectors designed for a 2-dimensional scan, that is X and Y deflection, are fixed on an insulating plate. The low power performance of a magnetic micro-deflector attached to a microcolumn system has been tested and the magnitude of deflection is measured to be ～100 μm/A, which offers the possibility for practical applications of the magnetic micro-deflector.
참고문헌 (5)
- "Experimental evaluation of a 20×20 mm footprint microcolumn", B14(6), pp.3792~ (1996)
- "Electron-beam microcolumns for lithography and related applications", B14, pp.3774~ (1996)
- "Arrayed microcolumn operation with a wafer-scale Einzel lens"
- "마이크로 전자렌즈의 광학적 정렬과 조립", 17(4), pp.216~ (2006)
- "Compression of field-emission angular distribution using a cathode shield", B13, pp.2445~ (1995)