일체형 분광편광간섭계 채용 분광 반사도 및 분광 타원편광계수 동시 측정 시스템
Integrated Spectral Reflectometric and Ellipsometric System Employing a Monolithic Polarizing Interferometric Module
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초록
본 연구는 분광 반사광 측정법과 분광 편광타원 계측법을 하나로 통합한 새로운 개념의 광대역 박막 두께 측정 시스템을 제안한다. 제안된 시스템은 편광 빔 분리기 기반의 일체형 간섭계를 기반으로 고속의 박막 측정이 가능하다. 간단한 셔터 메커니즘을 통해 하나의 시스템으로 분광 반사 광계측 및 분광편광 타원계측을 동시에 구현할 수 있으며 스마트폰 사이즈의 작은 크기임에도 높은 정확도와 정밀도를 제공한다.
Abstract
In this study, we propose a novel system that integrates spectroscopic reflectometry (SR) and spectroscopic ellipsometry (SE) for a wide range of thin-film thickness measurements. The system utilizes a polarizing-beam-splitter-based monolithic interferometer, enabling high-speed thickness measurements of thin films. A simple shutter mechanism allows us to perform the integrated SR and SE measurement with a single device. We demonstrate experimentally that the proposed smartphone-sized compact system can provide highly precise and accurate thin-film measurement capability.